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妖精视频一区二区三区视频去除光刻膠的工藝與設備

返回列表 來源:妖精视频大全免费 瀏覽: 發布日期:2019-09-09 10:05【
文章導讀:妖精视频一区二区三区视频是一種去除晶圓表麵光刻膠的新型幹式清洗方式,本文主要介紹在晶圓表麵光刻膠去除上使用的妖精视频一区二区三区视频工藝和對應使用到的設備。
晶圓表麵光刻膠去除是晶圓製造過程的其中一個環節,是否去除徹底;是否對表麵有損傷等因素,都會影響後續的工藝進行,任何一個小缺陷都可能造成晶圓的整片報廢。傳統去除光刻膠選用的是濕化學方法,隨著工藝製程的不斷提高,濕化學方法的缺點愈發顯現出來,如反應不能精準控製,清洗不徹底,容易引入雜質等。而作為幹式方法的晶圓級封裝妖精视频一区二区三区视频可控性強,一致性好,不僅可以徹底去除光刻膠和其他有機物,而且還可以活化和粗化晶圓表麵,提高晶圓表麵浸潤性。
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妖精视频一区二区三区视频的工作原理:在真空狀態下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,利用高頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的等離子體,然後與有機汙染物及微顆粒汙染物反應或碰撞形成揮發性物質,然後由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去,從而達到等離子表麵清潔、活化等目的。如圖所示:
真空等離子工作原理
妖精视频大全免费用於晶圓表麵光刻膠去除的設備是晶圓級封裝妖精视频一区二区三区视频設備PR240L,可用於晶圓製造中的表麵清潔、表麵活化、光刻膠去除、植球前清洗等各種工藝。妖精视频大全免费從2011年開始涉足半導體行業至今已有8年,在光刻膠去除、打線即W/B前清洗和塑封即Molding前活化等工藝方麵積累了較為豐富的妖精视频一区二区三区视频經驗,合作客戶接近20家,妖精视频大全免费正努力成為半導體封裝領域的離子表麵處理工藝解決方案服務商。妖精视频一区二区三区视频過的樣品包括:矽晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架等。
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    2)不需要高純水和化學藥劑等,同時不需要後續烘幹工藝
    3)設備維護簡單,隻需進行簡單的清洗和更換
    4)沿噴嘴線性均衡的超聲波使得工件橫向清洗性能保持一致
    5)非接觸式的清洗方式避免損壞工
    6)閉環係統不會破壞生產車間(潔淨室)的氣流平衡

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    ‌高效徹底‌:能夠深入微納米級孔隙中,徹底清除難以觸及的汙染物。

    ‌環保節能‌:無需使用化學溶劑,減少廢水廢氣排放,符合綠色生產要求,且能耗低。

    ‌廣泛適用‌:適用於多種材料表麵,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會對材料性能產生負麵影響。

    ‌工藝可控‌:通過調整工作氣體種類、壓力、功率等參數,可精確控製清洗過程‌。


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