真空妖精视频网页版機的腔體大小和進氣方式對均勻性有何影響？
文章導讀： 影響真空妖精视频网页版機均勻性的因素很多，包括腔體大小、進氣方式、電極結構、電源頻率、氣體流量、功率大小等等，今天妖精视频大全免费的小夥伴來談談腔體大小和進氣方式對均勻性的影響，僅供參考：
1、真空妖精视频网页版機腔體的容積越大，均勻性越難掌控，尤其對電源的選擇要慎重。妖精视频大全免费可根據客戶產品規格和產量進行定製妖精视频网页版機，自10L以上都可進行個性化的設計。但如等離子發生器隻選用13.56MHz的RF電源，那麽建議盡量控製在600L以內，腔體越大所需的RF電源功率就越大；尤其是使用3000W及以上功率，則建議使用美國AE、MKS或其他進口的RF電源，成本相對較高，但穩定可靠。如處理的產品對均勻性要求高，建議使用40KHz的中頻電源或將真空腔體控製在100L以內。
2、妖精视频大全免费妖精视频网页版設備使用前進氣後排氣的方式，經過測試這種均勻性相對較好。腔體內的進氣管通常用鋁管，將鋁管彎折並焊接成類似方形結構並在鋁管上開孔，開孔位置在兩層電極板的中間，保證每層處理空間都有獨立的進氣品。如下圖所示：
大腔體設備的進氣結構會有所變化，具體結構還要看腔體大小，下圖為其中一種結構：
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